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[17p-Z12-7] Progress and prospects of research on epitaxial graphene on SiC
Keywords:graphene
SiCの熱分解により成長するグラフェンの特徴は、ウェハースケールの単一方位グラフェンを、絶縁性基板であるSiC上に直接形成できる点にある。そのため、エレクトロニクス応用に適しているとされ、多くの研究がなされてきた。本発表では、グラフェンのノーベル賞の2010年前後から現在までの、SiC上グラフェン研究の進展と、現在の状況および今後の展望について述べる。