[17p-Z13-1~8] 1.6 Ultrasonics

△ [17p-Z13-1] Two layered polarity inverted SiAlN/AlN film bulk acoustic wave resonator

〇(B)jun sekimoto¹, masashi suzuki¹, shoji kakio¹ (1.Univ. Yamanashi)

Keywords:Aluminum nitride film, polarity control, polarity inverted film

窒化アルミニウム(AlN)にSiを添加することで，AlNの極性制御できることが知られており，本実験でも同様の傾向を確認した.また，Si添加濃度を変化させたときの電気機械結合係数(k_t²)はSiの添加量を増やすにつれて減少した.
さらに，SiAlN/AlN2層極性反転構造音響共振子をの形成に成功した.
膜厚を同じにしたときの2層極性反転構造とMasonモデルによる単層音響共振子を比較すると，共振周波数は約2倍になり，変換損失は向上した.