[17p-Z13-1~8] 1.6 超音波

△ [17p-Z13-1] Si添加による極性制御を用いた2層極性反転SiAlN/AlN膜音響共振子

〇(B)関本 淳¹、鈴木 雅視¹、垣尾 省司¹ (1.山梨大)

キーワード：窒化アルミニウム薄膜、極性制御、極性反転膜

窒化アルミニウム(AlN)にSiを添加することで，AlNの極性制御できることが知られており，本実験でも同様の傾向を確認した.また，Si添加濃度を変化させたときの電気機械結合係数(k_t²)はSiの添加量を増やすにつれて減少した.
さらに，SiAlN/AlN2層極性反転構造音響共振子をの形成に成功した.
膜厚を同じにしたときの2層極性反転構造とMasonモデルによる単層音響共振子を比較すると，共振周波数は約2倍になり，変換損失は向上した.