[17p-Z13-1~8] 1.6 超音波

△ [17p-Z13-2] RFスパッタリングにより成膜された(K,Na)NbO₃膜のBAW・SAW特性

〇吉澤 宗眞¹、鈴木 雅視¹、垣尾 省司¹、伊東 良晴²、舘山 明紀²、舟窪 浩²、若林 剛³、柴田 憲治⁴ (1.山梨大学、2.東京工業大学、3.株式会社コイケ、4.株式会社サイオクス)

キーワード：弾性表面波、基板付き薄膜共振子、RFスパッタリング

弾性表面波(SAW)フィルタや圧電薄膜共振子には，高い電気機械結合係数(Kt)，低い伝搬損失を持つ圧電材料が望まれている．本報では，RFスパッタリングにより作製した(K,Na)NbO₃(KNN) 膜を用いて，基板付き薄膜共振子のバルク波応答からKtを評価， KNN膜上に送受すだれ状電極を作製しSAW 伝搬特性を評価し，水熱合成膜と比較を行った．水熱合成膜と同程度のKt，速い位相速度が得られた．