[17p-Z17-1~19] 9.4 熱電変換

[17p-Z17-3] エレクトロマイグレーションによるナノ接合の形成過程におけるゼーベック係数の計測

〇(DC)花村 友喜¹、山田 亮¹、夛田 博一¹ (1.阪大院基礎工)

キーワード：ナノ接合、ゼーベック係数、エレクトロマイグレーション

金属電極同士の原子スケールのナノ接合の熱・電子物性を計測するため、我々は、微細加工技術を利用し、ナノ金属接合の電気伝導度と熱伝導度、ゼーベック係数を同時に計測できる素子を開発した。室温で金属細線からナノ接合が形成される過程で量子効果が発現し、ゼーベック係数が急上昇することが確認された。