[17p-Z27-1~14] 15.4 III-V族窒化物結晶

[17p-Z27-11] 分光エリプソメトリーを用いたAl_1-xIn_xN混晶の光学特性解析における誘電関数モデルの検討

〇豊田 隼大¹、村上 裕人¹、宮田 梨乃¹、今井 大地¹、宮嶋 孝夫¹、三好 実人²、竹内 哲也¹ (1.名城大院理工、2.名古屋工大)

キーワード：AlInN、分光エリプソメトリー、誘電関数