[17p-Z32-1~7] 15.1 バルク結晶成長

[17p-Z32-7] CZ法によるCu金属単結晶作製

〇熊谷 毅¹、安藤 宏孝¹、渡邊 清和¹、高橋 和也¹、藤井 高志¹、川又 透²、杉山 和正²、鈴木 茂³、福田 承生¹ (1.福田結晶研、2.東北大金研、3.東北大μSIC)

キーワード：単結晶、金属

Cu単結晶については高周波誘導加熱CZ法により直径10mmの小口径の報告があった。私たちはNi金属単結晶と同じ手順でCZ法で作製テストを行ったが、融液表面に不純物が発生して結晶作製は困難であった。Cu単結晶に最適化したCZ法でφ18 mm×直胴25 mm Cu単結晶の引上げに成功した。