[18a-Z04-1~11] 3.7 レーザープロセシング

△ [18a-Z04-3] Si におけるレーザー加工痕のパルス時間幅依存性

〇(M1)三村 一暉¹、高橋 孝²、山口 誠³、小林 洋平²、富田 卓朗¹ (1.徳島大院創成、2.東京大物性研、3.秋田大理工)

キーワード：レーザー加工、パルス時間幅依存性、シリコン