9:00 AM - 9:15 AM
△ [18a-Z14-1] Surface deterioration control in protective film of collector mirror for EUV light source
Keywords:EUV light source
EUV光源における長寿命化の課題として、Mo/Si多層膜反射集光鏡の保護膜劣化によるEUV反射率の低下がある。本研究では、Mo/Si多層膜反射集光鏡における、非晶質TiO2保護膜の結晶化による劣化機構の解明と劣化抑制手法を検討した。保護膜とMo/Si多層膜の間にSiO2層の挿入を試みたところ、TiO2保護膜界面に生成された結晶核の成長を妨げると考えられる、明確な結晶化抑制効果を見出した。