The 68th JSAP Spring Meeting 2021

Presentation information

Oral presentation

7 Beam Technology and Nanofabrication » 7.1 X-ray technologies

[18a-Z14-1~11] 7.1 X-ray technologies

Thu. Mar 18, 2021 9:00 AM - 12:15 PM Z14 (Z14)

Akira Sasaki(QST), Mitsunori Toyoda(Tokyo Polytechnic Univ.)

9:00 AM - 9:15 AM

[18a-Z14-1] Surface deterioration control in protective film of collector mirror for EUV light source

Yoshiyuki Honda1, Shinji Nagai1, Masayuki Morita1, Masahiko Andou1, Akifumi Matsuda2, Mamoru Yoshimoto2 (1.Gigaphoton Inc., 2.Tokyo Tech.)

Keywords:EUV light source

EUV光源における長寿命化の課題として、Mo/Si多層膜反射集光鏡の保護膜劣化によるEUV反射率の低下がある。本研究では、Mo/Si多層膜反射集光鏡における、非晶質TiO2保護膜の結晶化による劣化機構の解明と劣化抑制手法を検討した。保護膜とMo/Si多層膜の間にSiO2層の挿入を試みたところ、TiO2保護膜界面に生成された結晶核の成長を妨げると考えられる、明確な結晶化抑制効果を見出した。