[18a-Z14-1~11] 7.1 X線技術

△ [18a-Z14-1] EUV光源コレクターミラー保護膜における表面劣化の抑制

〇本田 能之¹、永井 伸治¹、森田 昌幸¹、安藤 正彦¹、松田 晃史²、吉本 護² (1.ギガフォトン、2.東工大)

キーワード：EUV光源

EUV光源における長寿命化の課題として、Mo/Si多層膜反射集光鏡の保護膜劣化によるEUV反射率の低下がある。本研究では、Mo/Si多層膜反射集光鏡における、非晶質TiO₂保護膜の結晶化による劣化機構の解明と劣化抑制手法を検討した。保護膜とMo/Si多層膜の間にSiO₂層の挿入を試みたところ、TiO₂保護膜界面に生成された結晶核の成長を妨げると考えられる、明確な結晶化抑制効果を見出した。