[18a-Z14-1~11] 7.1 X線技術

[18a-Z14-5] 半導体リソグラフィ用EUV光源に用いるスズなどの重元素の多価イオンのスペクトルの起源

〇佐々木 明¹ (1.量研関西研)

キーワード：EUV光源、プラズマ分光、多価イオン

波長13.5nmのスズのレーザープラズマからのEUV発光は、半導体リソグラフィ光源として実用化され、さらなる露光パターンの微細化のため、光源の短波長化、高効率化の研究が進められている。本発表では、数値計算によって求めた原子エネルギー準位や発光線の遷移確率のデータと、さまざまな条件で得られた実験データの詳しい解析もとに、発光スペクトルのモデルを構築した結果と、今後の課題について述べる。