[18a-Z16-1~8] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

△ [18a-Z16-6] トリメチルアルミニウムで染色した光硬化ナノ薄膜の内部構造解析

〇千葉 康平¹、中村 貴宏¹、伊東 駿也¹、中川 勝¹ (1.東北大多元研)

キーワード：光硬化樹脂薄膜、逐次蒸気浸透法、内部層状構造

逐次蒸気浸透法による光硬化ナノ薄膜の有機－無機ハイブリッド化を研究している。本発表では、光ナノインプリント技術でレジストに用いる硬化薄膜をトリメチルアルミニウムで染色し、内部層状構造を分析した。OH基含有モノマーとOH基なしのモノマーから形成された各々の硬化薄膜では密度の異なる内部層状構造が存在した一方で、両方の混合で作製した硬化薄膜ではより内部の層数と密度差が小さくなることがわかった。