[18a-Z17-1~11] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[18a-Z17-1] プラズマガスの相違によるポリイミドプラズマポリマーの構造変化

〇田口 貢士¹、箕浦 皓¹、山原 基裕¹、登尾 一幸¹ (1.株式会社魁半導体)

キーワード：プラズマポリマー、ポリイミド