[18a-Z17-1~11] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[18a-Z17-4] 大気圧プラズマ合成によるダイヤモンド状炭素膜の高硬度化の研究

〇西村 涼汰¹、三田村 啓嵩¹、吉木 宏之¹、荒船 博之¹ (1.鶴岡工業高等専門学校)

キーワード：大気圧マイクロプラズマ、ダイヤモンド状炭素膜、プラズマCVD

金属パイプ電極を用いた大気圧プラズマCVD法によりDLC膜の合成を行い、H₂比率の増加により膜の高硬度化が生じ、最大 19.2 GPaの膜硬度を得た。H₂比率 10 %で合成した場合、AFM表面観察により、膜の平均粗さは±0.15 nmと、高い表面均一性を有することがわかった。