[18a-Z17-1~11] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

△ [18a-Z17-9] 高圧水素プラズマ誘起ナノポーラス化銀表面の光学特性評価

〇安東 卓洋¹、関戸 拓郎¹、垣内 弘章¹、安武 潔¹、大参 宏昌¹ (1.阪大院工)

キーワード：ナノポーラス銀、高圧水素プラズマ、表面増強ラマン散乱

ナノポーラス（NPs）金属は、触媒等、様々な応用が考えられる機能材料である。我々は無毒廉価な水素からなる高密度水素プラズマに金属表面を曝露する手法によりナノポーラス銀を形成し、これを微量化学物質の検出センサーに適用することを目指している。今回、提唱する手法により得られた種々の形状のNPs銀に対して、ラマン分光法により、微量試薬に対するラマン増強度を評価し、ナノ孔性状とラマン増強度との相関を調べた。