The 68th JSAP Spring Meeting 2021

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Oral presentation

8 Plasma Electronics » 8.2 Plasma deposition of thin film, plasma etching and surface treatment

[18a-Z17-1~11] 8.2 Plasma deposition of thin film, plasma etching and surface treatment

Thu. Mar 18, 2021 9:00 AM - 12:00 PM Z17 (Z17)

Kosuke Takenaka(Osaka Univ.), Keigo Takeda(Meijo Univ.)

11:15 AM - 11:30 AM

[18a-Z17-9] Characterization of optical property of
high-pressure hydrogen plasma-induced nanoporous silver surface

Takuhiro Ando1, Takuro Sekido1, Hiroaki Kakiuchi1, Kiyoshi yasutake1, Hiromasa Ohomi1 (1.Osaka Univ.)

Keywords:nanoporous silver, high-pressure hydrogen plasma, Surface Enhanced Raman Scattering

ナノポーラス(NPs)金属は、触媒等、様々な応用が考えられる機能材料である。我々は無毒廉価な水素からなる高密度水素プラズマに金属表面を曝露する手法によりナノポーラス銀を形成し、これを微量化学物質の検出センサーに適用することを目指している。今回、提唱する手法により得られた種々の形状のNPs銀に対して、ラマン分光法により、微量試薬に対するラマン増強度を評価し、ナノ孔性状とラマン増強度との相関を調べた。