[18a-Z20-1~8] 6.1 Ferroelectric thin films

[18a-Z20-1] Evaluation of solvent dependence of electrical properties of organic piezoelectric P(VDF-TrFE)

〇Kazuki Hiratsuka¹, Iduru Kanagawa¹, Takeshi Yoshimura¹, Norifumi Fujimura¹ (1.osaka pref univ)

Keywords:piezoelectric, PVDF

P(VDF-TrFE)は、優れた圧電特性や焦電特性を有する代表的な強誘電ポリマーである。我々は、数mmの膜厚を有するP(VDF-TrFE)薄膜を用いて高感度な圧電MEMS超音波トランスデューサー(pMUT)の実現を目指している。P(VDF-TrFE)においては、膜中に多くの欠陥が存在し、電圧印加によって多くの電荷がトラップされると報告されている。そこで本研究では、薄膜を作製する際に用いる溶媒が、P(VDF-TrFE)の微構造や電気特性に及ぼす影響について調べた。