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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[18a-Z27-1~9] 15.4 III-V族窒化物結晶

2021年3月18日(木) 09:00 〜 11:30 Z27 (Z27)

荒木努(立命館大)、小林篤(東大)

11:00 〜 11:15

[18a-Z27-8] コヒーレントAlN/AlGaNヘテロ構造の作製とトランジスタ応用

〇前田亮太¹、上野耕平¹、小林篤¹、藤岡洋¹ (1.東大生研)

キーワード：AlGaN、スパッタリング