[18a-Z32-1~10] 23.1 合同セッションN「インフォマティクス応用」

[18a-Z32-9] 多結晶シリコンの光反射特性による結晶方位推定モデル

〇(P)小島 拓人¹、原 京花²、沓掛 健太朗³、松本 哲也¹、工藤 博章¹、宇佐美 徳隆² (1.名大院情報、2.名大院工、3.理研AIP)

キーワード：多結晶シリコン、結晶方位解析

多結晶シリコンの結晶方位情報をインゴットスケールで取得するため，大径試料に対して低コストで結晶方位推定を行なうことができる光学測定を入力とし，X線回折による結晶方位分布を教師データとしたニューラルネットワークモデルを開発した．訓練データの入力と教師データに対してデータ的に回転を施すことで大きく推定精度を改善した．