[18a-Z33-1~9] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[18a-Z33-3] ITO微小体―金属グリッドのハイブリッド構造からなる曲げ耐性の高いフレキシブル透明電極

〇渡辺 明¹、Rahman Ashiqur¹、駒田 めぐみ² (1.東北大多元研、2.住友化学)

キーワード：フレキシブル透明導電、ITO（酸化インジウムスズ）、金属微細グリッド

ITO（酸化インジウムスズ）透明導電膜は優れた導電性と透明性を有しているが，曲げ変形時の応力によってクラックが発生し，抵抗値が増加してしまうという問題があった。本研究では，ITOの微小構造体を目視で透明に見える線幅（5μm以下）の金属グリッドで連結したハイブリッド型透明導電膜を形成し，高い透明性(透過率80%以上)と曲げ耐性（曲げ半径2.5mm以上）を達成できたので報告する。