9:45 AM - 10:00 AM
[18a-Z33-4] The sputter deposition of broadband transparent conductive In2O3:Ce,H and its transfer to silicon heterojunction solar cells
Keywords:transparent conductive oxide, mobility, solar cell
Siヘテロ接合(SHJ)太陽電池開発において、窓電極のITO(In2O3:Sn)をより高移動度な透明導電膜に置換え、光学(反射・吸収)損失を抑制することで、高効率化が図られている。窓電極形成には、反応性プラズマ堆積(RPD)あるいはマグネトロンスパッタ(MS)法が用いられ、高移動度透明導電膜としてHあるいはHと金属(Me)不純物を同時添加したIn2O3:Me,H薄膜が用いられている。本研究では、MS-In2O3:Ce,H薄膜の性能を調べ、SHJ太陽電池の窓電極に適用し、ITOを用いた参照試料との性能比較を行った。