[18a-Z33-1~9] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[18a-Z33-5] RFスパッタリング法によるTiO₂薄膜表面へのWO_x薄膜、WO_x-SiO₂混合薄膜堆積が光触媒活性および濡れ性に与える影響

〇宮城 友昭¹、高橋 芳朗¹、秋本 恭喜¹、園田 正樹¹ (1.大分県産科技センター)

キーワード：光触媒