[18p-Z03-1~10] Progresses and future on EUV and soft x-ray imaging techniques

[18p-Z03-3] Application and Perspective of a Scanning Transmission X-ray Microscope in UVSOR

〇Takuji Ohigashi^1,2, Yuzawa Hayato¹ (1.Inst. for Mol. Sci., 2.Sokendai)

Keywords:X-ray microscopy, In-situ analysis, Spectroscopy

分子研UVSORの走査型透過軟X線顕微鏡（STXM）ビームラインBL4Uで推進している、応用分析手法の現状について報告を行う。最近の主な開発要素として、透過分光によるリチウムの顕微化学状態分析手法の開発に成功した。また夏頃に予定されている、はやぶさ２帰還試料の大気非暴露分析に向けて、試料の受け入れ準備を進めている。ビームラインの現状とともに、近年のユーザーによる応用研究事例についても紹介を行う。