2021年第68回応用物理学会春季学術講演会

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シンポジウム(口頭講演)

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[18p-Z03-1~10] EUV・軟X線イメージングの描く未来

2021年3月18日(木) 14:30 〜 18:35 Z03 (Z03)

豊田 光紀(東京工芸大)、津留 俊英(山形大)、原田 哲男(兵庫県立大)、大東 琢治(分子研)

15:05 〜 15:20

[18p-Z03-3] UVSORの走査型透過X線顕微鏡による応用研究と展望

大東 琢治1,2、湯沢 勇人1 (1.分子研、2.総研大)

キーワード:X線顕微鏡、その場分析、分光

分子研UVSORの走査型透過軟X線顕微鏡(STXM)ビームラインBL4Uで推進している、応用分析手法の現状について報告を行う。最近の主な開発要素として、透過分光によるリチウムの顕微化学状態分析手法の開発に成功した。また夏頃に予定されている、はやぶさ2帰還試料の大気非暴露分析に向けて、試料の受け入れ準備を進めている。ビームラインの現状とともに、近年のユーザーによる応用研究事例についても紹介を行う。