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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.6 IV族系化合物（SiC）

[18p-Z05-1~16] 15.6 IV族系化合物（SiC）

2021年3月18日(木) 13:30 〜 18:00 Z05 (Z05)

細井卓治(阪大)、竹内和歌奈(愛工大)、平井悠久(産総研)

14:15 〜 14:30

[18p-Z05-4] [講演奨励賞受賞記念講演] 水素エッチングとSiO₂堆積後の窒化処理を組み合わせた
高品質4H-SiC/SiO₂界面の形成

〇立木馨大¹、金子光顕¹、小林拓真¹、木本恒暢¹ (1.京大院工)

キーワード：SiC