[18p-Z14-1~4] 7.1 X線技術

[18p-Z14-2] 刻線密度3200本/mmの軟X線ラミナー型回折格子の製作と評価

〇羽多野 忠^1,2、小池 雅人^3,4、ピロジコフ アレキサンダー³、垣尾 翼⁵、林 信和⁵、笹井 浩行⁵、長野 哲也⁵、寺内 正己² (1.東北大SRIS、2.東北大多元研、3.量研量子ビーム、4.大阪市大工、5.島津製作所デバイス部)

キーワード：回折格子、軟Ｘ線、回折効率

軟Ｘ線分光用としては高刻線密度の3200本/mmのラミナー型回折格子を製作した。Auをコートして、入射角86°で0.5–1.2 keV、入射角88°で1.1–1.6 keVのエネルギー領域で回折効率を計測した。回折格子の製作に使用した基板の面粗さ0.6 nm rmsで想定された性能と一致し、製作に問題ないことが確認された。基板の品質、コート材料、溝形状の変更により幅広い仕様で刻線密度3200本/mmの軟Ｘ線回折格子が供給できる見通しが立った。