[18p-Z17-1~20] 8.1 プラズマ生成・診断

[18p-Z17-11] パルスマイクロ波励起大気圧酸素添加アルゴンプラズマによる広幅アッシング処理

〇(M1)小笠原 知裕¹、岩田 悠揮¹、鈴木 陽香¹、豊田 浩孝^1,2 (1.名大工、2.核融合研)

キーワード：大気圧プラズマ