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一般セッション(口頭講演)

8 プラズマエレクトロニクス » 8.1 プラズマ生成・診断

[18p-Z17-1~20] 8.1 プラズマ生成・診断

2021年3月18日(木) 13:30 〜 19:00 Z17 (Z17)

赤塚洋(東工大)、富田健太郎(北大)、田中学(九大)

15:00 〜 15:15

△ [18p-Z17-7] ダブルカーリングプローブによる堆積膜厚と電子密度のその場同時計測

〇(B)加藤翔太¹、小川大輔¹、中村圭二¹ (1.中部大工)

キーワード：カーリングプローブ、同時その場計測、堆積膜