[18p-Z17-1~20] 8.1 Plasma production and diagnostics

[18p-Z17-8] Wireless communication of in-situ measurement data by color sensor in plasma reactor

〇Keiji Sakurai¹, Takayuki Kitagawa², Shigeyuki Miyagi¹, Kazuyuki Noborio², Koushi Taguchi², Osamu Sakai¹ (1.Univ. Shiga Pref., 2.Sakigake Semicon.)

Keywords:plasma, sensor, wireless communication

IoT（Internet of Things、モノのインターネット）をはじめとして、各種の安価センサを多数設置し、その大量のデータから自然・社会・産業活動状況（工場内見守りを含む）を把握しようという試みが広く行われている。しかし、工場の中では、そのような見守りが困難な箇所が多く残されており、その中の一つが真空装置内部である。我々は、真空装置内部の発光現象の監視のため、ガラスチャンバー内のプラズマ発光に対して、真空下で単独動作可能なIoT型色彩センサを開発したが、導体壁に囲まれた真空チャンバー内部への適用についてはまだ実績がない。本研究では、この色彩センサをステンレス製の真空チャンバー内部に設置し、生成されるプラズマの発光が直接検知可能か、そして無線通信により装置外部でデータ受信可能かについて報告する。