[18p-Z17-1~20] 8.1 プラズマ生成・診断

[18p-Z17-9] 低気圧Arプラズマの励起状態密度に与える酸素分子混入効果の衝突輻射モデルに基づく考察

〇(M2)土谷 裕介¹、根津 篤^2,3、赤塚 洋^3,1 (1.東工大工学院、2.東工大オープンファシリティーセンター、3.東工大研究院)

キーワード：衝突輻射モデル、低気圧Arプラズマ、酸素分子混入効果

衝突輻射モデル（以下，CRモデル）に基づき，プラズマの電子温度・密度を非侵襲的に診断する方法は，原則として可能である．しかし，実際のプロセスプラズマにおいては，プロセスガス混入による励起状態への影響が懸念される．そこで本研究では，プロセスプラズマにしばしば用いられる低気圧Arプラズマについて，酸素分子混入を想定した損失項をArCRモデルに組み込むことで，励起状態数密度に生じる影響を理論計算により考察した．