The 68th JSAP Spring Meeting 2021

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Oral presentation

12 Organic Molecules and Bioelectronics » 12.7 Biomedical Engineering and Biochips

[18p-Z22-1~15] 12.7 Biomedical Engineering and Biochips

Thu. Mar 18, 2021 1:30 PM - 5:45 PM Z22 (Z22)

Tetsu Tanaka(Tohoku Univ.), Tomoyuki Yokota(Univ. of Tokyo), Yasufumi Yokoshiki(Tokyo Institute of Technology)

2:15 PM - 2:30 PM

[18p-Z22-4] Annealing temperature dependence of SnO2 detection membrane of potential detection type dissolved oxygen sensor

〇Rena Ueda1, Sylvia Mei Lin Loo1, Yong Joon Choi1, Kazuhiro Takahashi1, Toshihiko Noda1, Kazuaki Sawada1 (1.Toyohashi Univ of Tech)

Keywords:dissolved oxygen

これまで我々の研究グループでは，SnO2をISFET のゲート上に堆積したデバイスを作製し，​溶液中の溶存酸素濃度を測定することに成功している．本研究ではSnO2の堆積後に行う酸素アニール温度を変更して，FET型溶存酸素センサの応答感度の向上を目指した．結果として，400ºCで酸素アニールを行ったデバイスが最も優れた感度を示した．