[18p-Z22-1~15] 12.7 医用工学・バイオチップ

[18p-Z22-4] 電位検出型溶存酸素センサのSnO₂製検出膜のアニール温度依存性

〇上田 玲奈¹、Loo Sylvia Mei Lin¹、崔 容俊¹、高橋 一浩¹、野田 俊彦¹、澤田 和明¹ (1.豊橋技科大)

キーワード：溶存酸素

これまで我々の研究グループでは，SnO₂をISFET のゲート上に堆積したデバイスを作製し，​溶液中の溶存酸素濃度を測定することに成功している．本研究ではSnO₂の堆積後に行う酸素アニール温度を変更して，FET型溶存酸素センサの応答感度の向上を目指した．結果として，400ºCで酸素アニールを行ったデバイスが最も優れた感度を示した．