[18p-Z24-1~14] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[18p-Z24-11] レジオネラ菌の識別に向けたフォトゲート型蛍光センサによる計測システムの検討

〇本田 優斗¹、崔 容俊¹、村上 健介¹、石井 仁¹、野田 俊彦¹、高橋 一浩¹、澤田 和明¹、町田 克之²、伊藤 浩之²、斎藤 光正³、二階堂 靖彦³ (1.豊橋技科大、2.東工大、3.産業医科大)

キーワード：半導体、フィルターフリー蛍光センサ、レジオネラ菌