[18p-Z24-1~14] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[18p-Z24-12] フェリチンの２次元配列におけるグリセロール含有溶媒の効果

〇大堀 大介¹、竹内 聡¹、佐藤 旭¹、石田 昌久²、曽田 匡洋²、田中 麻美²、遠藤 和彦^1,3、寒川 誠二^1,3,4 (1.東北大流体研、2.長瀬産業、3.産総研、4.東北大AIMR)

キーワード：バイオテンプレートマスク、ナノ構造、高密度周期構造

周期ナノ構造をトップダウン技術で実現するためには、非常に高精度なエッチングマスク技術が必要となる。フェリチンは、十数nmの構造を実現できるバイオテンプレートマスクであり、再現よく高密度に配列するためには、基板とフェリチンの相互作用と自己組織化能の最適化が必要となる。そこで、本研究ではフェリチン溶液の溶媒にグリセロールを含有させ、その比率を制御することで、フェリチンをより均一に並べる条件を検討した。