[18p-Z24-1~14] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

[18p-Z24-12] Effect of Solution of Containing Glycerol for 2D Ferritin Arrangemen

〇Daisuke Ohori¹, Sou Takeuchi¹, Asahi Sato¹, Teruhisa Ishida², Masahiro Sota², Mami Tanaka², Kazuhiko Endo^1,3, Seiji Samukawa^1,3,4 (1.IFS, Tohoku Univ., 2.NAGASE & Co., LTD., 3.AIST, 4.AIMR, Tohoku Univ.)

Keywords:bio-template mask, nanostructure, high density periodic structure

周期ナノ構造をトップダウン技術で実現するためには、非常に高精度なエッチングマスク技術が必要となる。フェリチンは、十数nmの構造を実現できるバイオテンプレートマスクであり、再現よく高密度に配列するためには、基板とフェリチンの相互作用と自己組織化能の最適化が必要となる。そこで、本研究ではフェリチン溶液の溶媒にグリセロールを含有させ、その比率を制御することで、フェリチンをより均一に並べる条件を検討した。