[18p-Z32-1~11] 3.7 レーザープロセシング

△ [18p-Z32-1] 透過型ポンプ-プローブイメージング装置による石英ガラスの超短パルスレーザー誘起加工現象の時間分解測定

〇寺澤 英知^1,2、佐藤 大輔^2,3、澁谷 達則³、盛合 靖章²、小川 博嗣^2,3、田中 真人^2,3、黒田 隆之助^2,3、小林 洋平^2,4、坂上 和之^1,5、鷲尾 方一¹ (1.早大理工総研、2.産総研オペランド計測OIL、3.産総研分析計測標準、4.東大物性研、5.東大光量子センター)

キーワード：レーザー加工、ポンプ-プローブイメージング

我々は、超短パルスレーザー加工技術の向上に向け、レーザー誘起破壊現象のメカニズム、特にフェムト秒からピコ秒領域の非熱的過程のダイナミクスの解明を目指している。本研究では、ポンプ-プローブイメージング装置を開発し、超高速時間領域における非可逆的な破壊現象の観察に取り組んでいる。本講演では、新たに開発した透過型ポンプ-プローブイメージング装置による石英ガラスの加工現象の時間分解測定結果を報告する。