[18p-Z32-1~11] 3.7 レーザープロセシング

△ [18p-Z32-2] 空気との非線形相互作用による光パルスの強度分布変化のレーザー加工への影響

〇山田 涼平¹、小松原 航¹、櫻井 治之²、小西 邦昭¹、三尾 典克¹、湯本 潤司¹、五神 真¹ (1.東大院理、2.東大物性研)

キーワード：フェムト秒レーザー加工、超短パルスレーザー、非線形光学相互作用

空気との非線形相互作用による光パルスの強度分布変化のレーザー加工への影響を調べるために、3次の非線形効果と空気のイオン化を取り込んだ非線形連立伝搬方程式を解くことで、ガウシアンビームの集光点近傍での伝搬の様子を数値計算によって追跡した。その結果、加工穴深さのパルスエネルギー依存性の特異な振る舞いは、空気との非線形相互作用によってピークフルーンスの上昇が抑制されるためであることを明らかにした。