2:45 PM - 3:00 PM
[18p-Z33-6] Electrical and optical properties of MgZnO transparent electrode materials deposited by high temperature sputtering
Keywords:UV-LED, Transparent electrode, Sputtering
AlGaN系深紫外線発光ダイオードは,光取り出し効率(LEE)が非常に低いため高出力化が困難である.LEEの改善には,透明電極が有用であるが従来のITOは紫外光に対して不透明である.そこで,深紫外光が透過可能な酸化物材料MgZnOに着目した.
本報告では,低い抵抗値を維持したまま,MgZnOの深紫外領域における透過率向上を目的とし,成膜時の基板温度について検討を行った.
本報告では,低い抵抗値を維持したまま,MgZnOの深紫外領域における透過率向上を目的とし,成膜時の基板温度について検討を行った.