[19a-P01-1~5] 7 Beam Technology and Nanofabrication(Poster)

[19a-P01-1] Kinetic energy distribution of Ar ions passed through a cylindrical glass channel in incidence of 15 keV-Ar⁶⁺ ion beam

Ryohei Takahashi¹, Fumiya Hagiwara¹, Shion Iwase¹, 〇Kenji Motohashi¹ (1.Toyo Univ.)

Keywords:highly charged ion, ion beam guide

1.2 mmの隙間を挟んで光学用ガラス円筒凸レンズと凹レンズを対向させたガラス円筒面チャネル内に、15 keVのAr⁶⁺イオンビームを入射した際の、出射イオンの価数と運動エネルギーを、飛行時間と電界による変位で間接測定した。その結果、チルト角－2°～＋2°の範囲で多くのイオンが入射時の価数と運動エネルギーを保持し、最大で約0.18°偏向した。また、幾何学的に出口が完全にふさがれる±3°のチルト角でも、約22％の粒子が出射した。