2021年第68回応用物理学会春季学術講演会

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[19a-P02-1~9] 8 プラズマエレクトロニクス(ポスター)

2021年3月19日(金) 09:00 〜 09:50 P02 (ポスター)

09:00 〜 09:50

[19a-P02-8] 反応性プラズマプロセスを用いた高移動度IGZO薄膜トランジスタの低温形成(III)

竹中 弘祐1、平山 裕之1、藤村 知輝1、林 祐仁1、内田 儀一郎2、江部 明憲3、節原 裕一1 (1.阪大接合研、2.名城大理工、3.イー・エム・ディー)

キーワード:IGZO、酸化物半導体