[19a-P02-1~9] 8 プラズマエレクトロニクス(ポスター)

[19a-P02-9] DLC高速成膜のための同軸ガス供給パルスアークプラズマジェット源の開発

〇針谷 達¹、富永 凌也¹、大浦 曜¹、滝川 浩史¹、鈴木 耕拓²、國次 真輔³、権田 英修⁴ (1.豊橋技科大、2.若狭エネ研、3.岡山工技、4.オーエスジー)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン、アークプラズマジェット