[19a-P04-1~9] 8 プラズマエレクトロニクス(ポスター)

[19a-P04-8] Al(CH₃)₃凝縮層の酸素プラズマ照射によるAl₂O₃低温形成と物性評価

〇(M2)大川 敦輝¹、山田 大地²、王谷 洋平²、佐藤 哲也¹ (1.山梨大、2.諏訪東京理科大)

キーワード：半導体、トリメチルアルミニウム、極低温