[19a-Z02-1~8] 1.5 Instrumentation, measurement and Metrology

[19a-Z02-2] Influence of wireless network noise on electrostatic chuck

〇(M1)Hiroshi Sanda^1,2, homma Tetsuya¹ (1.Shibaura-IT, 2.Toshiba Co)

Keywords:noise, electric static chuck, plasma

電子機器製品の市場拡大に伴い、電子デバイス分野でもスマートファクトリー化が進んでおり、製造装置やセンサーを含めた工場内のあらゆる機器をインターネットに接続し、品質や装置状態などの様々な情報を「見える化」している。本研究ではスマートファクトリーを支える無線ネットワークのノイズがプラズマ源を具備した真空装置の静電チャック（Electoric Static Chuck)に及ぼす影響を調べ、その改善を実施した。