[19a-Z02-1~8] 1.5 計測技術・計測標準

[19a-Z02-2] 無線ネットワークのノイズによる静電チャックへの影響

〇(M1)三田 浩史^1,2、本間 哲哉¹ (1.芝工大、2.東芝デバイス＆ストレージ)

キーワード：ノイズ、静電チャック、プラズマ

電子機器製品の市場拡大に伴い、電子デバイス分野でもスマートファクトリー化が進んでおり、製造装置やセンサーを含めた工場内のあらゆる機器をインターネットに接続し、品質や装置状態などの様々な情報を「見える化」している。本研究ではスマートファクトリーを支える無線ネットワークのノイズがプラズマ源を具備した真空装置の静電チャック（Electoric Static Chuck)に及ぼす影響を調べ、その改善を実施した。