[19a-Z15-1~10] 6.4 薄膜新材料

[19a-Z15-7] 水溶性犠牲層を用いたアナターゼ型Nb: TiO₂エピタキシャル薄膜のフレキシブルシートへの転写プロセスにおけるバッファ層の効果

〇平岡 壮大¹、加藤 暢宏²、藤原 宏平³、西川 博昭² (1.近大院生物理工、2.近大生物理工、3.東北大金研)

キーワード：ニオブドープ酸化チタン、エピタキシャル薄膜、エピタキシャルリフトオフ