2021年第68回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料

[19a-Z15-1~10] 6.4 薄膜新材料

2021年3月19日(金) 09:00 〜 11:30 Z15 (Z15)

中村 吉伸(東大)、室谷 裕志(東海大)

10:45 〜 11:00

[19a-Z15-8] フレキシブルプリント基板上に作製したエピタキシャルPb(Zr0.52, Ti0.48)O3 薄膜の圧電特性評価

水山 智文1、廣﨑 紀光2、西垣 勉3、西川 博昭3 (1.近畿大院生物理工、2.太洋工業 研究開発部、3.近畿大生物理工)

キーワード:Pb(Zr0.52,Ti0.48)O3、エピタキシャル薄膜、フレキシブルプリント基板

我々は、張り付けるだけで超音波画像を観察可能な,フレキシブルなウェアラブル超音波シートの開発を目指している.これまでに,外部回路との接続が容易なフレキシブルプリント基板(FPC)上にエピタキシャルPZT薄膜を転写するプロセスを確立してきた.本研究では,転写プロセスによって作製されたフレキシブルなエピタキシャルPZT薄膜の,強誘電特性及び圧電特性評価を行った.