[19a-Z15-1~10] 6.4 薄膜新材料

[19a-Z15-8] フレキシブルプリント基板上に作製したエピタキシャルPb(Zr_0.52, Ti_0.48)O₃ 薄膜の圧電特性評価

〇水山 智文¹、廣﨑 紀光²、西垣 勉³、西川 博昭³ (1.近畿大院生物理工、2.太洋工業 研究開発部、3.近畿大生物理工)

キーワード：Pb(Zr0.52,Ti0.48)O3、エピタキシャル薄膜、フレキシブルプリント基板

我々は、張り付けるだけで超音波画像を観察可能な，フレキシブルなウェアラブル超音波シートの開発を目指している．これまでに，外部回路との接続が容易なフレキシブルプリント基板(FPC)上にエピタキシャルPZT薄膜を転写するプロセスを確立してきた．本研究では，転写プロセスによって作製されたフレキシブルなエピタキシャルPZT薄膜の，強誘電特性及び圧電特性評価を行った．