[19a-Z15-1~10] 6.4 薄膜新材料

[19a-Z15-9] 光結晶化によるフレキシブル一軸配向PZT膜の製膜

〇中島 智彦¹、土屋 哲男¹ (1.産総研)

キーワード：フレキシブル酸化物薄膜、レーザープロセス、圧電薄膜

化学溶液法を用いて原料溶液を塗布、前駆体膜を形成してパルス紫外レーザー光を照射する光結晶化手法を用いて2次元ペロブスカイト酸化物であるRbLaNb₂O₇薄膜を樹脂基板上に一軸配向させ、その上部に同じく光結晶化によって一軸配向PZT膜の製膜に成功した。本シード層製膜は大気中・プリンタブルである特徴を有し、オンデマンド性が非常に高いために樹脂基材上における微小領域配向膜作製への展開も期待できる。