[19a-Z17-1~8] 8.3 プラズマナノテクノロジー

△ [19a-Z17-2] 中圧水素プラズマを用いた高アスペクト比シリコンナノコーンの形成

〇野村 俊光¹、木元 健太¹、垣内 弘章¹、安武 潔¹、大参 宏昌¹ (1.阪大院工)

キーワード：水素プラズマ、高圧プラズマ、ナノ構造