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△ [19a-Z17-4] タンデム型 Ar/O2 変調熱プラズマによるFe3+TiO2 ナノ粒子大量生成時おける下段コイル電流変調効果 ~シングル型変調熱プラズマとの比較~
キーワード:シングル型変調熱プラズマ、タンデム型変調熱プラズマ、ナノ粒子生成
本論文では,我々が新規に開発したタンデム型変調熱プラズマ装置を用いてナノ粒子生成を試み,従来手法であるシングル型変調熱プラズマ装置と比較を行った.結果として,タンデム型は上段を種火として維持することでシングル型と比べ大きな変調を実現することが確認され,ナノ粒子生成においてもタンデム型が小さなナノ粒子を生成可能であることが示唆された.